فراغ الحرارية اختبار الدائرة في صناعة أشباه الموصلات الالكترونية

مجموعة التحكم في درجة الحرارة

-7س+120℃

حجم الفراغ

600 * 600 * 700مم ( العرض * العمق * الارتفاع )

حجم غرفة العمليات

620 * 470 * 370 ممواسعة* عميق * طويل القامة )

حد .真空度

حد .10e4pa ( أي 0.0001pa )

درجة الحرارة القرار

0.1℃

درجة الحرارة تقلب

± 0 .2℃（حالة ثابتةو

صعود/降温速率

الباردة والساخنة لوحة سطح الناقل> 1 ~ 3 ℃ / دقيقة ( 0.5 ℃ خطأ التربة )

مصدر الطاقةالجهد

380V / 50Hض ثلاث مراحل خمس أسلاك النظام

تدفق النيتروجين

0 ~ 100L / دقيقة

حجم المعدات

1300 * 110 * 1800مم

طريقة التدفئة

بنيت في لوحة الساخنة والباردة( 4 وجوه )

نظام المضخة الرئيسية

مضخات المرحلة السابقة :دوامة مضخة الجافةانخفاض الضغط الجوي10pa عند بدء التشغيل السريع باك (

مضخة ثانويةمركب مضخة الجزيئية（10pa إلى 104با عندما يبدأ ضغط الدم (

نظام قياس درجة الحرارة

PT100 البلاتين المقاوم

طريقة التبريد

تتالي ضاغط التبريد المستوردة

طريقة عرض درجة فراغ

روي باوبشكل مستقلالعرض الرقمي فراغ متر شاشة تعمل باللمس عرض

طريقة عرض درجة الحرارة

لون شاشة تعمل باللمس الرقمية متر عرض ;مع درجة الحرارة في الوقت الحقيقي سجل منحنى مجموعة البيانات سجل الاستعلام ، والتنبيه خطأ سجل تخزين تاريخ البحث

وضع فراغ

التلقائي فراغ ضخ

هيكل مربع

نظام فراغ متصل مع تدفئة تجويف من خلال أنبوب الطريق .

معدات المواد

بطانة عالية الجودةSUS304 الفولاذ المقاوم للصدأ ، لوحة الصلب المدرفلة الباردة ، قناة الصلب الملحومة ، سطح كهرباء رش البلاستيك

باب ختم المواد

إغلاق باب صندوق قابل للتعديل مرونة ، جزءا لا يتجزأ من تشكيل الواردات اليابانيةفلوريدالمطاط ختم الباب ، لضمان درجة عالية من فراغ في المربع

مواد العزل الحراري

ارتفاع درجة الحرارة مقاومة للحريق سيليكات الألومنيوم

سنسر

ارتفاع درجة الحرارة الحرارية

جهاز الأمن

أكثر من درجة الحرارة التنبيه قطع التدفئة إمدادات الطاقة ، وحماية تسرب ، سلك كسر التنبيه ، حماية المرحلة ، أسس الحماية ، الخ .

تركيب الطاقة

11 كيلوواط

الوزن الصافي

550 كيلوغرام

محاكاة البيئة القطبية الباردة والساخنة فراغ اختبار البيئة الدائرة