استيراد البلازما آلة التنظيف المحدودة

الفقرةالكوارتز فراغ آلة تنظيف البلازماتمتلكخاصوقد ختم ممتازة الأداء ، على نحو فعال لمنع تسرب الغاز ، وتحسين سلامة المعدات . 13.56mhz الترددات اللاسلكية مولد البلازما يمكن أن تنتج كثافة عالية من البلازما ، البلازما عالية الكثافة يمكن أن تذهب عميقا في البنية المجهرية من سطح المنتج ، وبالتالي ضمان المعلقة تنظيف ومعالجة الآثار . وبالإضافة إلى ذلك ، هذا العلاج البلازما عالية الكفاءة يمكن أن تساعد أيضا على تحسين أداء المنتجات الصغيرة في الاختبارات التجريبية ، وتلبية متطلبات صارمة عالية الدقة وعالية النقاء المعالجة السطحية في مجالات البحث العلمي والصناعة .

مبدأ : كيفية تحقيق كفاءة عالية تنظيف البلازما ؟

الكوارتز فراغ آلة تنظيف البلازما يستخدم القصف المادي و تفاعل كيميائي من البلازما لتنظيف وتفعيل وتعديل سطح المواد في بيئة فراغ .

1 - آلية توليد البلازما

فراغ البيئة : ضخ رد فعل الغرفة إلى انخفاض فراغ ( 10 ~ 10 تور ) للحد من الاصطدام بين جزيئات الغاز .

عالية التردد الحقل الكهربائي الإثارة : توليد غاز خامل ( مثل ع ) أو رد فعل الغازات ( مثل س ، قوات التحالف ، الخ . ) التأين لإنتاج البلازما التي تحتوي على الأيونات ، الإلكترونات ، الجذور الحرة .

الكوارتز تجويف المزايا : الكوارتز مقاومة درجات الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل ، لضمان استقرار البلازما و لا تلوث المعادن .

2 . مبدأ عمل التنظيف

المادية الاخرق : عالية الطاقة الأيونات القصف على السطح ، مباشرة تجريد المواد العضوية والجسيمات من الملوثات .

التفاعلات الكيميائية : الجذور الحرة النشطة ( مثل س ، و ؟ تتفاعل مع الملوثات لإنتاج المنتجات المتطايرة ( على سبيل المثال ، أول أكسيد الكربون ، ح ؟ س ) التفريغ .

سطح التنشيط : البلازما العلاج يمكن أن تزيد من طاقة السطح من المواد ، وتحسين أداء أو التصاق الطلاء اللاحقة .

عملية تدفق : توحيد خطوة من التمهيد إلى التنظيف

1 - إعداد المعدات

التحقق من نظام الختم : تأكد من أن هناك أي تسرب في تجويف الأنابيب ، ومضخة فراغ ( مثل مضخة دوارة + مضخة الجزيئية ) تعمل بشكل طبيعي .

إعداد الغاز : ربط اسطوانات الغاز ( مثل ع ، س ؟ ( عادة 20-50 SCCM ) .

تثبيت العينة : وضع العينة في صينية الكوارتز لتنظيف لتجنب حجب البلازما تغطي المنطقة .

2 . إعداد المعلمة

درجة فراغ : ضخ فراغ الأساسية ( < 5 × 10 ؟ torr=''>

الترددات اللاسلكية السلطة : وفقا لنوع من المواد ( 50-300 واط ) ، عالية الطاقة يمكن أن تلف العينة .

وقت المعالجة : 5-30 دقيقة التنظيف العادية ، سوبر غرامة التنظيف يمكن أن تمتد إلى 1 ساعة .

3 . بدء البلازما

إدخال الغاز العامل : أولا إدخال غاز الأرجون قبل التنظيف ، ثم التبديل إلى رد فعل الغاز ( على سبيل المثال ، س إزالة المواد العضوية ) .

إشعال البلازما : بدوره على الترددات اللاسلكية السلطة ، وتنظيم ثابت توهج التفريغ عن طريق مطابقة المعاوقة ( حتى الأرجواني / الأزرق توهج مرئية للعين المجردة ) .

عملية الرصد : مراقبة درجة فراغ السلطة الانعكاسية ( أقل من 5 في المائة ) ، على الفور اغلاق عند شذوذ . ص

4 - إنهاء وأخذ العينات

إيقاف إمدادات الطاقة والغاز : أولا إيقاف الترددات اللاسلكية ، ثم إيقاف الغاز ، وأخيرا إيقاف مضخة فراغ .

كسر قطعة : إدخال ن إلى تجويف الضغط العادي ، وارتداء القفازات خالية من الغبار لأخذ العينات .

النقاط الرئيسية في الصيانة : مفتاح إطالة عمر المعدات

1 - الصيانة اليومية

تنظيف تجويف

مسح الجدار الداخلي من تجويف الكوارتز مع الوكالة كل أسبوع ، وإزالة البوليمر الودائع .

التلوث العنيد يمكن قمعها بواسطة الأكسجين البلازما ( 200 واط ، س ؟ تدفق 30 SCCM ، والتعامل مع 1 ساعة ) .

فراغ مضخة صيانة :

افحص مستوى الزيت من مضخة دوارة كل شهر واستبدالها في حالة النفط الخام ( تغيير الزيت كل 500 ساعة ) .

مضخة جزيئية يجب أن تحقق بانتظام مع الدولة لتجنب التشويش في سرعة عالية .

2 - صيانة المكونات الرئيسية

كوارتز نافذة / صينية :

تجنب تأثير الميكانيكية ، واستخدام قماش ناعمة + ديونيزيد المياه عند التنظيف ، تعطيل فرشاة الثابت .

التحقق من نفاذية الضوء كل ستة أشهر ، إذا كان هناك الانحلال أو الكراك يحتاج إلى استبداله .

قطب الترددات اللاسلكية

طحن طبقة أكسيد على سطح القطب بانتظام مع الصنفرة لضمان التوصيل الكهربائي .

التحقق من العزل الكهربائي طوقا تجويف واستبدالها في الوقت المناسب عند الشيخوخة و تكسير .

3 - المعايرة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها

فراغ قياس المعايرة : ربع مقارنة مع معيار قياس الفراغ ، خطأ > 10 ٪ تحتاج إلى تعديل .

معايرة مقياس الجريان الغاز : استخدام الصابون فيلم مقياس الجريان المعايرة لضمان دقة ± 2 ٪ .

معالجة الأخطاء الشائعة :

البلازما الاستقرار : التحقق من نقاء الغاز ( أكثر من 99.999 ٪ ) ، مطابقة المعاوقة .

عدم كفاية فراغ : التحقيق في الشيخوخة من الختم الدائري ، مضخة التلوث النفطي أو تسرب صمام .

سوء تأثير التنظيف : ضبط نسبة الغاز ( مثل ع : س ؟ = 4 : 1 تعزيز الأكسدة .

السلامة وحماية البيئة

سلامة الغاز : س ؟ الخ القابلة للاشتعال / الغازات السامة يجب أن تكون مجهزة إنذار تسرب الغاز الذيل يجب التعامل معها من قبل scrubber . . . . . . .

الحماية من الإشعاع : البلازما تنتج الأشعة فوق البنفسجية ، إغلاق نافذة المراقبة أثناء العملية ، وتجنب الرؤية المباشرة .

معالجة النفايات : تنظيف النفايات السائلة ( على سبيل المثال ، IPA ) يتم استردادها وفقا لمواصفات المواد الكيميائية الخطرة .

تطبيق المشهد الأمثل

حزمة أشباه الموصلات : استخدام ع / س ؟ الغاز مختلطة يزيل طبقة الأكسدة من وسادة ، ويحسن قوة الترابط . المعالجة البصرية طلاء : ح البلازما للحد من السطح ، وتحسين التصاق الفيلم .

　　الكوارتز فراغ آلة تنظيف البلازماهذا الجهاز لديه ميزة واضحة ليس فقط في الأداء ولكن أيضا في مراقبة التكاليف . فإنه يسمح للمستخدمين لإنجاز مهام المعالجة السطحية عالية الجودة في إطار الميزانية المناسبة ، وتحقيق نمو فعالة من حيث التكلفة . مجهزة البصرية شاشة تعمل باللمس يجعل العملية أكثر حدسي ، في الوقت الحقيقي رصد عملية المعلمة وظيفة تسمح للمستخدم لضبط وتحسين عملية الإعداد في الوقت الحقيقي ، وضمان أن تأثير المعالجة دائما يتفق مع التوقعات .

وبالإضافة إلى ذلك ، فإن الجهاز يدعم مجموعة متنوعة من الغازات العملية ، بما في ذلك غاز الأرجون ، والأكسجين ، والهيدروجين ، الهليوم ، ومختلف الغازات المفلورة ، وتكييفها مع مختلف متطلبات معالجة الظروف التكنولوجية . عالية الدقة نظام مراقبة تدفق الغاز جنبا إلى جنب مع اثنين من طريقة عملية تكوين الغاز ( الأرجون والأكسجين ) يدرك مراقبة دقيقة من اثنين من طريقة تدفق الغاز ، يمكن للمستخدم ضبط نسبة الغاز وفقا لمتطلبات لتحقيقجودة عاليةتأثير العلاج . هذا النوع من المرونة في عملية استخدام الغاز ، جنبا إلى جنب مع دقة التحكم في التدفق ، وزيادة تحسين تطبيق المعدات وتجهيز الجودة ، هو الحل المثالي في مجال البحوث العلمية والصناعية المعالجة السطحية .

تصور شاشة تعمل باللمس ، في الوقت الحقيقي رصد عملية المعلمات .

② دعم مختلف الغازات العملية ، بما في ذلك الأرجون والأكسجين والهيدروجين والهيليوم والغازات المفلورة .

عالية الدقة نظام مراقبة تدفق الغاز ، واثنين من عملية تكوين الغاز ( الأرجون والأكسجين ) ، واثنين من تدفق الهواء التحكم ، قابل للتعديل نسبة .