التلقائي الكيميائية تلميع الميكانيكية التي هي جيدة

نظرة عامة :

إن cp-6 RTEC الكيميائية تلميع الميكانيكية آلة ( CMP ) يستخدم أسلوب المهنية لدراسة وتوصيف الأطراف العملية . بالإضافة إلى تلميع رقاقة والركيزة ، اختبار مجهزة أيضا على الانترنت سطح الشخصي . هذا المزيج يوفر معلومات عن أسباب وطرق تغيير السطح ، والاحتكاك ، وارتداء ، الخ . اختبار يمكن أيضا قياس العديد من المعلمات المضمنة ، مثل الاحتكاك ، خشونة السطح ، وارتداء كمية وهلم جرا ، من أجل فهم العملية بالتفصيل .

سمات :

1 . المتكاملة المجهر متحد البؤر 3D يمكن استخدامها لوصف سطح تلميع منصة مع نانومتر القرار .

2 - دراسة عملية تلميع من الاحتكاك الداخلي و الانبعاثات الصوتية ؛

3 . مضمنة استشعار درجة الحرارة ؛

4 . يمكن تثبيت أنواع كثيرة من رقاقة الحجم ؛

5 - التحكم في الضغط والسرعة .

س ، ص منصات مصممة لنقل الصوانى بين تلميع والتصوير المواقف . وبالإضافة إلى ذلك ، س ص منصة يساعد على التذبذبات رقاقة أثناء عملية التلميع . استخدام لوحة الضغط مع س ص محرك الأقراص يسمح متعددة محور محرك الأقراص لإنشاء مجموعات مخصصة الحركة لمحاكاة ظروف الاختبار على مقربة من بيئة الإنتاج الفعلي .

أجهزة الاستشعار المضمنة :

1 . عزم الدوران عزم دوران عالية الدقة الاستشعار المضمنة يمكن تحقيق نقطة النهاية وتحديد السطح في الوقت الحقيقي ؛

2 - الإشارات الصوتية ، مما يسمح نقطة النهاية النوعية أو للمساعدة في الكشف عن الحطام ، العيوب في عملية التلميع .

3 . على الخط رصد درجة الحرارة درجة الحرارة وسادة بالقرب من سطح مصقول رقاقة يمكن أن تساعد في دراسة آلية إزالة .

برمجة تحميل / سرعة :

من أجل تحسين العملية ، cp-6 يسمح استخدام البرمجيات على أساس صيغة للسيطرة على تغيير القوة والسرعة والسرعة .

سهلة الاستخدام :

أداة قياس الاحتكاك مع تغيير سريع الناقل ، يمكن بسهولة تثبيت رقاقة وسادة . البرنامج يأتي مع معيار اختبار محددة مسبقا ، أو يمكنك بسهولة إنشاء وصفات مخصصة جديدة .

متكاملة على الانترنت 3D profilometer :

Rtec الكيميائية تلميع الميكانيكية مجهزة مضمنة متكاملة 3D profilometer . . . . . . . بعد التحسين ، سطح تلميع الوسادة مع نانومتر القرار يمكن وصفها . كاشف مجهز متحد البؤر واسطة ، التداخل واسطة ، حقل الظلام و حقل مفتوح واسطة . وهذا يتيح دراسة العلاقة بين التغيرات السطحية والوقت في نانومتر القرار . اختبار يسمح الذاتي مخيط على مساحة كبيرة على حساب حجم ارتداء وخشونة .